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高真空蒸着装置RDシリーズ
高真空蒸着装置EDシリーズ |
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スパッタ装置SPシリーズ |
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CVD装置CTシリーズ
CVD装置CPシリーズ
MOCVD装置CM-8000
レーザーCVD装置CL-12000
マイクロ波CVD装置SDM-2 |
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CVI装置CIシリーズ |
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リアクティブイオンエッチング装置 |
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イオンプレーティング装置ICシリーズ
高温イオンプレーティング装置 |
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真空脱ガス炉SBFシリーズ
半導体用脱ガス炉
FPD用乾燥炉
真空脱気装置付熱処理炉 |
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真空焼結炉VBシリーズ |
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外熱式高周波溶解炉
高周波誘導加熱真空溶解炉SVMシリーズ
真空アーク溶解炉 |
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半導体液晶表面改質装置CSR-2400
真空脱泡装置
真空注液装置
高電圧高真空エージング装置
高真空制御ロウ付炉
外熱式真空ロウ付炉 |
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