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イオンプレーティング装置

ダイヤモンドライク膜の研究をしたい。
従来のTiN膜(窒化チタン膜)を中心としたイオンプレーティング膜の研究もしたい。
しかし、2台購入するには予算がたりない・・・・。
こんなお悩みを、持たれている方にお答えしたのが、
弊社のイオンプレーティング装置です。


<特 徴>
1 ダイアモンドライク膜と従来のTiN、TlC膜の実験ができます。
2 ダイアモンドライク膜用イオン化源と、TiN膜用イオン化源(アノードリングタイプ)の2種類のイオン化源をもっています。
3 2種類のイオン化源は着火より安定していますので、誰でもすぐにイオンプレーティングができます。
4 水冷平板治具と加熱回転治具が、標準装備されていますので様々なサンプルに対応できます。
5 取り扱い上、間違って異常放電をさせても、プロテクトがかかっておりますので安心です。

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