【真空蒸着装置】【CVD装置】【イオンプレーティング装置】【スパッタリング装置】【真空脱ガス炉】 【真空溶解炉】【真空アーク溶解炉】【真空ホットプレス】【その他各種装置】 電子部品及び電気機器、精密機器部品等は、 磁性材料・導電材料・絶縁材料等の組合せによって構成されていますが、 高真空中で脱ガスと乾燥を行う事によってこれらの材料の特性を向上させ、 高性能、かつ長寿命の部品を生みだすことができます。 さらに医薬品などの乾燥保存、酸化防止、薬品容器の洗浄後の完全乾燥や、 半導体部品、レーザーディスク、新素材の分野にも脱ガスは応用されています。 マイクロヒーターを各棚に直接取付けてありますので、 加熱時間が早く、均一な温度分布が得られ、内部機械はすべて SUS製ですので腐蝕したり、酸化等の変化はなく、また高真空のため 内部は清浄な状態で使用できます。 過熱防止対策としては、ロバートショウを用いて万全を期していますし、 断水・停電による事故防止対策も施されております。 前面扉はワンタッチクランプ方式で容易に機密保持ができ、 排気系は別架台に設置され、運転作動時の本体への振動及び騒音をなくすように 周囲を覆ってあります。操作盤は完全独立筐体で自動・手動運転方式になっています。 |
