
(1)各種真空装置設計製作事業
真空蒸着装置/スパッタリング装置/プラズマCVD装置/サーマルCVD装置/レーザーCVD装置
MOCVD装置/反応性イオンプレーティング装置/ECR/イオン注入装置/真空脱ガス炉/真空ロー付炉
真空焼入炉/真空焼鈍炉/真空焼結炉/真空凍結乾燥装置/真空含浸装置/真空溶解炉
真空アーク溶解炉/ホットプレス/真空精密鋳造装置
(2)規格品販売事業(各メーカー取扱)
油回転真空ポンプ/ドライポンプ/メカニカルブースタポンプ/油拡散ポンプ/油拡散エグゼアポンプ
ターボ分子ポンプ/クライオポンプ/ゲッターイオンポンプ/真空バルブ各種/ベローズ各種
真空配管各種(真空フレキチューブ)/テスラーコイル/インダクションコイル/連成計/ブルドン管真空計
ピラニ真空計/電離真空計/ペニング真空計/絶対圧真空計/マスフローコントローラー/APCユニット
ガス用バルブ/ガス継手部品各種/ヘリウムリークディテクタ
蒸着用電源/電子銃/電子銃用電源/マグネトロンスパッタ源/直流電源/プラズマ用高周波電源
光学式膜厚計/水晶振動式膜厚計/ソリッドステート式高周波電源/溶解ルツボ/耐熱材
表面形状測定器/マスフィルタ型ガス分析計/スクラッチ試験器/レーザーエリプソメータ/マイクロビッカス
(3)消耗部品販売事業(各メーカー取扱)
ライオンオイル/シリコンオイル・グリース/フォンブリンオイル・グリース/ネオバックシリーズ
真空ゴムホース/VSホース
JISフランジ/NW(KF)フランジ/NW(KF)部品各種/ICFフランジ/ICFガスケット/ISOフランジ/ISO部品各種
バイトンOリング/ネオプレンOリング/石英ガラス/硬質ガラス/電磁弁
空圧リレー/水圧リレー/真空測定子/ガイスラー管/マイクロヒーター/拡散ポンプヒーター
(4)オーバーホール&中古改造事業
真空ポンプ各種オーバーホール
真空装置及び機器オーバーホール
真空装置改造、設計、製作
真空装置中古品販売
(5)蒸発材料&蒸着源販売事業
薄膜材料品 ターゲット材料、蒸着材料
高融点金属材料品 ボート、チムニ、バスケット、フィラメント、ハースライナー等
(6)薄膜コーティング受託(試作・製作)事業
金属コーティング全般(Al増反射膜、Cr/Cr2O3膜、Al+SiO2膜、電極Au/Ag/Cu膜)
誘電体コーティング全般(Vコート/ARコート)
膜加工(単層、多層)、抵抗蒸着方式、EB蒸着方式、PVD方式、CVD方式、IP方式
大きなワーク(φ1100迄)可能!短納期!1ケ〜でもOK!成膜費用が安い!
どんな膜でも御相談下さい。
(7)ガラスベルジャー設計製作事業
各材質のガラスベルジャー、各形状のガラスベルジャーに対応します。
(8)蒸着用ドーム(絞り加工)設計製作事業
各寸法、形状に対応します。
(1)各種半導体用装置
クリーンオーブン/焼成炉/各種洗浄装置/ロールコーター/スピンコーター/環境試験装置
単結晶引き上げ装置/液体用パーティクルカウンタ/気体用パーティクルカウンタ/半導体式PHセンサー
(2)半導体システム
1.各種ガスコントロールシステム
(CVD、拡散、ドライエッチャー、PVD、アッシャー、エピタキシャル、インプラント等)
2.ガス&液化ガス収納供給制御システム
3.各種ガス供給制御及び排気の安全管理システム
4.圧力、温度、流量制御システム
5.各種特殊ガスのステンレス配管工事、設計、製作
6.ハニカム試験装置
7.メタン試験装置
(3)半導体、水晶、ガラス、金属、セラミック及び新素材等の切断、研磨、鏡面加工
(4)基板、電気機器、その他組立加工等
(5)カーボン、セラミック部品販売
(1)各種機器
クリープ試験装置/高温高圧応力腐食割れ試験装置/定歪速度型応力腐食割れ試験装置
遅れ破壊試験装置/熱疲労試験装置/リラクセーション試験装置/コニカルカップ及び各種絞り試験工具
各種高低温及び雰囲気試験装置/各種電気炉/自動温度調節装置/セラミック用クリープ試験装置
窯業用圧縮強度試験装置/高温高圧水循環装置/各種オートクレープ高圧機器/粉末作製装置
非晶質金属作製装置
(2)各種部品販売
株式会社アカシ社製品/株式会社ミツトヨ社製品/各社熱電対/各社温度調整計/各社サイリスタ
各社ハイブリッド記録計/各社トランス/各社シーケンサー/各社電子部品パーツ等
<製品取扱会社(特約店)>
アイシン精機株式会社/株式会社アカシ/株式会社アルバック
株式会社堀場エステック/オムロン株式会社/ジャパンマシナリー株式会社/大晃機械工業株式会社
東伸工業株式会社/日本セラミック株式会社/日本電子株式会社/松下電工株式会社
株式会社ミツトヨ/三菱重工業株式会社/三菱電機株式会社/明治電機工業株式会社
メカニカルカーボン工業株式会社
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